孔豫这才放下心来,只有豺狼虎豹才能对抗豺狼虎豹。

        他下意识的捋了一把自己锃亮的光头,想着手上做的欧洲业务,想着刚接的日本活,目露凶光。

        方卓视线没放在汽油男的身上,而是眺望窗外:“冰芯到了现在,未来的路难归难,终究还是有迹可循的,EUV的技术积累,ASML能开启合作是最好,日本的尼康是退而求其次,国内是再次。”

        孔豫点了点头,这肯定是三管齐下。

        他思考片刻,试图寻找这次活动的重点:“尼康这方面的技术有多强?”

        方卓想了想,指了指自己桌上的文件,示意秘书拿给汽油男,然后说道:“尼康08年的时候推出过它的6镜头EUV试验机EUV1,用的是和ASML试验机一样的微缩倍率、光学数值孔径、曝光视场。”

        “前两年,它一直在各种光刻机会议上介绍它EUV1的进展,08年的时候搞定了动态曝光测试,拿到全晶圆的32nm线/距报告结果,光学系统波像差已经低于0.4nm。”

        “EUV的3个核心,光源、镜头、掩膜台,尼康的日本供应商Gigaphoton公司,它的LPP型(激光等离子体)光源当时已经实现了临时聚焦点IF的60W,和ASML的光源供应商美国的Cymer是不相上下。”

        “尼康出了两台EUV1工具,一台在日本芯片联盟Selete,一台在尼康的日本厂里,主要是给英特尔用。”

        “这么说吧,你翻到最后,当时尼康与ASML的差距大概是18个月。”

        随着方卓的话,孔豫也把文件翻到了最后,对于尼康光刻机的分析结论是曾经的18个月差距。

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