“啥叫干式微影？”顾北问道。
张文华没想到顾北竟然对这种很专业的术语感兴趣，想了想才解释道：“所谓干式，是指就是指光刻机投影物镜最后一个透镜的下表面与硅片上的光刻胶之间用的是空气做介质，顾名思义干式。”
“那为啥不用液体呢？”
顾北突然问道。
“你说用液体？”张文华神情很诧异。
“为什么不行？”没想到顾北的神情很认真：“不是要降低光的波长，光源出发是根本方法，水会改变光的折射率——这个高中生都知道吧？在透镜和硅片之间加一层水，原有的193nm激光经过折射，不就降低了吗？”这段话还是顾北重生前在网上看到的，所谓的浸润式原理。
“顾北，没你想到这么简单！”张文华口气中带着沮丧：“就在干式微影老攻克不下来的时候，我也想到了用液体做介质，但实验了一段时间最后决定放弃。”
“为什么？”
“因为这里面有几乎无法克服的苦难，如果用水，浸入环境很容易引起缺陷，包括气泡和污染，还有抗蚀剂与流体或面漆的相容性问题，抗蚀剂的折射指数如何能大于1.8等等一系列问题都无法克服。”
听不懂......
“刘所长怎么想的？”顾北皱眉问道。
内容未完，下一页继续阅读